メカトランスDDシリーズ
MTDD Series
| 商品名 | 外形寸法[mm] W×D×H |
発生変位 [μm] |
発生力 [N] |
剛性 [N/μm] |
自己共振 周波数 [Hz] |
静電容量 [μF] |
CAD ﾃﾞｰﾀ |
価格 [円]（税込） | |||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 1pc | 5pcs 以上 |
25pcs 以上 |
100pcs 以上 |
||||||||
| MTDD03S50F3 Datasheet Download |
15×3×5 | 50 | 3 | 0.06 | 1500 | 0.03 |  |
110,000 | 104,500 | 88,000 | 77,000 |
| MTDD06S100F10 Datasheet Download |
20×6×7 | 100 | 10 | 0.10 | 700 | 0.2 | |
88,000 | 83,600 | 70,400 | 61,600 |
| MTDD06S100F11 Datasheet Download |
20×6×7 | 100 | 11 | 0.11 | 900 | 0.36 | |
93,500 | 88,825 | 74,800 | 65,450 |
| MTDD06S330F7 Datasheet Download |
22×6×7.8 | 330 | 7 | 0.02 | 400 | 0.86 | |
104,500 | 99,275 | 83,600 | 73,150 |
| MTDD08S180F32 Datasheet Download |
28×8×8 | 180 | 32 | 0.18 | 900 | 0.9 | |
99,000 | 94,050 | 79,200 | 69,300 |
| MTDD08S300F16 Datasheet Download |
26×8×7 | 300 | 16 | 0.053 | 460 | 0.7 | |
99,000 | 94,050 | 79,200 | 69,300 |
| MTDD08S350F18 Datasheet Download |
26×8×7 | 350 | 18 | 0.051 | 500 | 0.8 | |
104,500 | 99,275 | 83,600 | 73,150 |
| MTDD12S90F5 Datasheet Download |
22×12×5.12 | 90 | 5 | 0.06 | 700 | 0.36 | 110,000 | 104,500 | 88,000 | 77,000 | |
| MTDD12S600F80 Datasheet Download |
46.8×12×12.6 | 600 | 80 | 0.13 | 300 | 6.75 | 158,000 | 150,000 | 142,500 | 135,400 | |
| MTDD16S750F90 Datasheet Download |
52×16×14 | 750 | 90 | 0.12 | 230 | 8.0 | |
132,000 | 125,400 | 105,600 | 92,400 |
| MTDD16S830F80 Datasheet Download | 52×16×14 | 830 | 80 | 0.10 | 230 | 11.8 | 137,500 | 130,625 | 110,000 | 96,250 | |
| MTDD16S860F64 Datasheet Download |
52×16×14 | 860 | 64 | 0.07 | 195 | 11.7 | 143,000 | 135,850 | 114,400 | 100,100 | MTDD15.6S1600F70 Datasheet Download |
107×156×14.4 | 1600 | 70 | 0.044 | 110 | 31.0 | 389,400 | 369,930 | 311,520 | 272,580 |
*1 : ノミナル値 *2 : 片側固定
※ご注文の合計が１０万円以下の場合、送料２０００円を徴収させて頂きますのでご了承頂ければ幸甚です。
MTDD Series - 真空環境対応タイプ
| 商品名 | 外形寸法[mm] W×D×H |
発生変位 [μm] |
発生力 [N] |
剛性 [N/μm] |
自己共振 周波数 [Hz] |
静電容量 [μF] |
CAD ﾃﾞｰﾀ |
価格 [円]（税込） | |||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 1pc | 5pcs 以上 |
25pcs 以上 |
100pcs 以上 |
||||||||
| MTD012S600F80-VC Datasheet Download |
46.8×12×12.6 | 600 | 80 | 0.13 | 300 | 2.6 | 200,000 | 190,000 | 180,500 | 171,500 | |
*1 : ノミナル値 *2 : 片側固定
※ご注文の合計が１０万円以下の場合、送料２０００円を徴収させて頂きますのでご了承頂ければ幸甚です。
MTDD Series - 75Vタイプ
| 商品名 | 外形寸法[mm] W×D×H |
発生変位 [μm] |
発生力 [N] |
剛性 [N/μm] |
自己共振 周波数 [Hz] |
静電容量 [μF] |
CAD ﾃﾞｰﾀ |
価格 [円]（税込） | |||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 1pc | 5pcs 以上 |
25pcs 以上 |
100pcs 以上 |
||||||||
| MTDD08S250F12 Datasheet Download |
26×8×7 | 250 | 12 | 0.048 | 450 | 1.4 | 66,000 | 62,700 | 52,800 | 46,200 | |
*1 : ノミナル値 *2 : 片側固定
※ご注文の合計が１０万円以下の場合、送料２０００円を徴収させて頂きますのでご了承頂ければ幸甚です。
MTDD Series - Non Magnetic（非磁性タイプ）
| 商品名 | 外形寸法[mm] W×D×H |
発生変位 [μm] |
発生力 [N] |
剛性 [N/μm] |
自己共振 周波数 [Hz] |
静電容量 [μF] |
CAD ﾃﾞｰﾀ |
価格 [円]（税込） | |||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 1pc | 5pcs 以上 |
25pcs 以上 |
100pcs 以上 |
||||||||
| MTDD16S860F64NM Datasheet Download |
52×16×14 | 860 | 64 | 0.07 | 195 | 11.7 | 154,000 | 146,300 | 123,200 | 107,800 | |
*1 : ノミナル値 *2 : 片側固定
※ご注文の合計が１０万円以下の場合、送料２０００円を徴収させて頂きますのでご了承頂ければ幸甚です。
MTDD Series - Non Magnetic & Vaccum Compatible（非磁性真空対応タイ プ）
| 商品名 | 外形寸法[mm] W×D×H |
発生変位 [μm] |
発生力 [N] |
剛性 [N/μm] |
自己共振 周波数 [Hz] |
静電容量 [μF] |
CAD ﾃﾞｰﾀ |
価格 [円]（税込） | |||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 1pc | 5pcs 以上 |
25pcs 以上 |
100pcs 以上 |
||||||||
| MTDD10S580F80NM-PS Datasheet Download |
64×10×21.4 | 580 | 80 | 0.14 | 282 | 11.6 | 198,000 | 188,100 | 158,400 | 138,600 | |
*1 : ノミナル値 *2 : 片側固定
※ご注文の合計が１０万円以下の場合、送料２０００円を徴収させて頂きますのでご了承頂ければ幸甚です。
MTDD Series - With Linear Bush
| 商品名 | 外形寸法[mm] W×D×H |
発生変位 [μm] |
発生力 [N] |
剛性 [N/μm] |
自己共振 周波数 [Hz] |
静電容量 [μF] |
CAD ﾃﾞｰﾀ |
価格 [円]（税込） | |||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 1pc | 5pcs 以上 |
25pcs 以上 |
100pcs 以上 |
||||||||
| MTDD23S150F800LB Datasheet Download |
90×54×27 | 150 | 800 | 5.33 | 1600 | 23.1 | 385,000 | 365,750 | 308,000 | 269,500 | |
*1 : ノミナル値 *2 : 片側固定
※ご注文の合計が１０万円以下の場合、送料２０００円を徴収させて頂きますのでご了承頂ければ幸甚です。
メカトランスMTDDシリーズは、コンパクトサイズで大きな変位を発生できるピエゾアクチュエータです。圧電素子が発生する変位を10倍以上拡大し、アクチュエータの変位不足を解消することができます。また形状が扁平かつ薄型なため小スペースでの取り付けに有利です。変位拡大機構の占める無駄な空間を少なくし、空間利用効率が非常に高いです。発生変位方向は圧電素子の変位方向と90度直交しているため、利用しやすい配置となっています。電圧を印加すると、このピエゾアクチュエータは伸びる方向に動作します。
MTDDシリーズの特長
- 1mmに近い（750μm）大きな変位が出力可能。
- 豊富なバリエーション／50μm～750μmまでの範囲で必要な出力を選択可能。
- 形状が扁平・薄型で装置の小型化に適している。
- アクチュエータの発生変位方向は圧電素子の変位方向と90度直交
- MTDシリーズとは発生変位の方向が反対
MTDDシリーズの動作原理
メカトランスMTDDシリーズは変位拡大機構の中心に積層圧電アクチュエータ(圧電素子)を挿入するように取付け、圧電素子が発生する変位量を数倍から数十倍に拡大しています。変位拡大機構側には圧電アクチュエータを取り付ける固定ネジ用のネジ穴が設けられています。圧電素子側には圧電素子に電圧を印加するリード線があり、使用時は図1のように接続をします。
メカトランスMTDDシリーズでは、圧電素子に電圧を印加すると図2 (電圧印加時)で示される様にアクチュエータの内側から外側へ広がる方向に変位は出力されます。また、アクチュエータの変位方向は圧電素子の変位方向と直交し、発生変位・発生力の作用点はアクチュエータの中心にあります。
図 1．圧電アクチュエータ駆動システム
図 2．圧電アクチュエータ原理図
MTD Series
- MTDD03S50F3
- MTDD06S100F10
- MTDD06S100F11
- MTDD06S330F7
- MTDD08S180F32
- MTDD08S250F12
- MTDD08S300F16
- MTDD08S350F18
- MTDD12S90F5
- MTDD12S600F80
- MTDD16S750F90
- MTDD16S830F80
- MTDD16S860F64
- MTDD16S860F64NM
MTDD Series - With Linear Bush
メカトランスMTDDシリーズ応用例
アクチュエータの使用例としては以下のものがあります。
- 露光装置用精密ステージ
- オートフォーカス機構
- 精密ポンプ
取り扱い時の注意事項
圧電アクチュエータの御使用にあたりまして以下のような注意事項があります。