圧電アクチュエータ専門メーカー 有限会社メカノトランスフォーマ | ピエゾアクチュエータ| ピエゾドライバ | ピエゾコントローラ | ピエゾステージ

PRODUCTS

製品情報

TOP > 製品情報 > ピエゾアシストステージ

ピエゾアシストステージ

ピエゾアシストステージとは

ピエゾゾアシストステージとは20ナノメートルという最小分解能でかつ粗動(ミリメートルオーダー)を備えた微動粗動手動ステージです。主な用途はテーブルの精密位置決めや微小荷重のコントロールを要する用途(ナノインデンテーション)でも容易に実現できる手動精密ステージです。大きさもコンパクトで簡単に持ち運びすることができ、使用方法もとても簡単。低予算で導入することができるリーズナブルな商品です。(*1ナノメートル=10億分の1メートル)

  • ピエゾアシストステージとコントローラに繋がる専用のケーブルが付属しています。

図1
品番 テーブル
サイズ
粗動移動量 微動移動量 微動量
最小分解能
マイクロメータ
操作位置
価格 [円]
(税込)
MTPA-2251SPA 25×25mm ±3mm 25µm以上 20nm以下 サイド 74,250
MTPA-2251SRPA 25×25mm ±3mm 25µm以上 20nm以下 サイド 74,250
MTPA-2251SRZPA 25×25mm ±3mm 25µm以上 20nm以下 サイド 74,250
MTPA-2251SZPA 25×25mm ±3mm 25µm以上 20nm以下 サイド 74,250
MTPA-2401SPA 40×40mm ±6.5mm 30µm以上 20nm以下 サイド 74,800
MTPA-2401SRPA 40×40mm ±6.5mm 30µm以上 20nm以下 サイド 74,800
MTPA-2401SRZPA 40×40mm ±6.5mm 30µm以上 20nm以下 サイド 74,800
MTPA-2401SZPA 40×40mm ±6.5mm 30µm以上 20nm以下 サイド 74,800
MTPA-2601SPA 60×60mm ±6.5mm 30µm以上 20nm以下 サイド 77,000
MTPA-2601SRPA 60×60mm ±6.5mm 30µm以上 20nm以下 サイド 77,000
MTPA-2601SRZPA 60×60mm ±6.5mm 30µm以上 20nm以下 サイド 77,000
MTPA-2601SZPA 60×60mm ±6.5mm 30µm以上 20nm以下 サイド 77,000

※ご注文の合計が10万円以下の場合、送料2000円を徴収させて頂きますのでご了承頂ければ幸甚です。

ピエゾアシストステージの動作原理

<装置の構成>

ピエゾアシストステージはステージの粗動機構としてマイクロメータを、微動機構としてピエゾアシスト機構をX軸,Y軸にそれぞれ持っています。 ピエゾアシスト機構には弊社ピエゾアクチュエータが内蔵されており、その伸縮機構によって精密な位置決めを実現しています。
マイクロメータは稼動範囲が最大13mmあり10μmの分解能で位置決めができます。ピエゾアシストは稼動範囲が約35μmで20nmの分解能で位置決めができます。ピエゾアシストステージは、この二つの調整機構を併用することで最大13mmの稼動範囲で20nmの分解能の精密位置決めが可能となっています。

 

<粗動機構による精密位置決め>

粗動機構による精密位置決めはマイクロメータのノブを回転させ、メータ記載の目盛りにより位置調整をします。

 

<微動機構による精密位置決め>

微動機構による精密位置決めはコントロールボックスのノブを回転させ、ピエゾアシストステージに内蔵しているピエゾアクチュエータへ供給する電圧を変化させて位置調整します。ピエゾアクチュエータは、コントローラボックスから供給する電圧によりアクチュエータの出力部の変位を制御することができます。その結果、ステージのテーブルの位置をナノメートルレベルで制御することを実現します。

ピエゾアシストステージの応用例

  • オードフォーカス
  • 共焦点顕微鏡
  • 半導体、FPD検査装置
  • 画像処理機器
  • レーザ加工
  • 干渉計形状測定

MTPA-2601SZPAにレンズ取付け時

PID制御位置決めシステム

ピエゾアシストステージに変位センサーを併用したPID制御システムにより、 ドリフトやヒステリシスが無く、安定した、高精度な位置決め制御が
実現できます。



PID実験状況

ピエゾアシストステージコントローラ(MTSD2001とMTSD2003)

  • ピエゾアシストステージの微動調整を行う専用コントローラです。
  • コントローラ種類:1軸タイプ(MTSD2001)と3軸タイプ(MTSD2003)
  • コントローラのダイアルノブを回転させ、ピエゾアシストステージに内蔵しているピエゾアクチュエータへ供給する電圧を変化させて位置調整します。

外形図(単位:mm)

MTSD2001

MTSD2003

専用ケーブル(2m)

仕様

品名 MTSD2001 MTSD2003 アダプタ
(US300618)
制御軸数 1軸 3軸
電源電圧 DC6V 0.8A DC6V 1.8A DC6V 1.8A
対応ACアダプタ US300618 US300618
動作温度 5~40℃ 5~40℃ 5~40℃
保存温度 -20~60℃ -20~60℃ -20~60℃
周囲湿度 20~80%RH
(結露なきこと)
20~80%RH
(結露なきこと)
20~80%RH
(結露なきこと)
外形寸法
(突起部除く)
80x80x25mm 160x80x25mm 60x44x26.5mm
CEC Level V
質量 0.12kg 0.28kg 0.10Kg
価格 ¥49,500 ¥99,000 ¥2,750

※ご注文の合計が10万円以下の場合、送料2000円を徴収させて頂きますのでご了承頂ければ幸甚です。

注意事項

  • DCジャックの適応サイズはφ4mmです。お客様にて電源をご準備される際は、プラグ径にご注意ください。
  • ピエゾアシストステージ専用コントローラ(MTSD200X)の電源をOFFにすると、ピエゾアシストステージの位置調整が変化し、微動調整分の位置ズレが発生します。
ページトップへ戻る