精密位置決め、微小荷重、荷重載荷

MTPA1000XY

精密位置決めステージ、微小荷重、荷重載荷、マイクロメータ

MTPA1000XYは、ナノメートルでの精度を必要とする精密位置決めや微小荷重のコントロールを簡易に実現できる新型の手動精密ステージです。大きさもコンパクトで簡単に持ち運びすることができ、使用方法もとても簡単。低予算で導入することができるリーズナブルな商品です。
(*1ナノメートル=10億分の1メートル)

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◆価格:300,000円

 

精密位置決め、微小荷重

 

MTPA1000XY特長

・2軸 (X とY軸) 直交に配置してあるが、変更可能

・手動で20nmの精密位置決めが可能

・微動レンジは60μm

・粗動レンジは13mm

・簡単にセットアップできる

・光学軸の調芯、細胞操作など顕微鏡下の作業に適している

・低価格 \300,000円/1式
※2軸ステージ(駆動用ドライバー付)

 


MTPA1000XY動作原理

<装置の構成>

MTPA1000XYはステージの粗動機構としてマイクロメータを、微動機構としてピエゾアシストをX軸,Y軸にそれぞれ持っています(図.2参照)。 ピエゾアシストには弊社ピエゾアクチュエータが内蔵されており、その伸縮機構によって精密な位置決めを実現しています。

マイクロメータは稼動範囲が最大13mmあり10μmの分解能で位置決めができます。ピエゾアシストは稼動範囲が最大60μmで20nmの分解能で位置決めができます。MTPA1000XYは、この二つの調整機構を併用することで最大13mmの稼動範囲で20nmの分解能の精密位置決めが可能となっています。

 

<粗動機構による精密位置決め>

粗動機構による精密位置決めはマイクロメータのノブを回転させ、メータ記載の目盛りにより位置調整をします。(図3.(a)参照)。

 

<微動機構による精密位置決め>

微動機構による精密位置決めはコントロールボックスのノブを回転させ、ピエゾアシストに内蔵しているピエゾアクチュエータへ供給する電圧を変化させて位置調整します。(図3.(b)参照)。ピエゾアクチュエータは、コントローラボックスから供給する電圧によりアクチュエータの出力部の変位を制御することができます。その結果、ステージのテーブルの位置をナノメートルレベルで制御することを実現します。

 

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MTPA1000XY使用方法

MTPA1000XYの使用方法は、次の4ステップです。

  Step1:ステージに位置決めの対象物を設置する。

  Step2:ステージ側、コントローラボックス側にある電圧供給用コネクタをケーブルで
      接続する。(図4.参照)

  Step3:コントローラボックスにACアダプタを接続し、電源スイッチをOnにする。
      (図5.参照)

  Step4:位置決めの対象物を見ながらマイクロメータとコントロールボックスにある
      ノブを回し位置を調整。

 

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ピエゾコントローラー、精密位置決め、微小荷重 / ピエゾコントローラー、精密位置決め、微小荷重

 

精密位置決めステージ、微小荷重、荷重載荷、マイクロメータ

 


MTPA1000XY応用例

主に通信分野では光学ファイバ、光導波路の光学調芯、医療分野では胚細胞や核の細胞操作など、顕微鏡下で精密位置決めを必要とする作業において、ナノメートルでの精度の位置決めを大掛かりな装置を用いることなく簡単に実現することが出来ます。他にはCCDカメラやレーザー計測器の焦点距離調整や微小荷重のコントロールに用いることも可能です。

光軸調整、光部品の組立て、細胞操作

その他

・CCDカメラの位置調整   ・レーザーのポイント調整

 


MTPA1000XY商品構成

MTPA1000XYは、精密位置決めの対象を設置するステージ、微動機構を駆動するコントロールボックス、微動機構とコントロールボックスを接続するケーブル、ACアダプタの4つから構成されます。

 

精密位置決めステージ、微小荷重、荷重載荷、マイクロメータ

①ピエゾアシスト精密ステージ ×1
②ピエゾアシストコントロールボックス ×1
③ピエゾアシスト用通信ケーブル ×2
④コントロールボックス用ACアダプタ ×1

 


MTPA1000XY仕様

型式 MTPA1000XY
テーブルサイズ 70mm×70mm
案内方式 ゴシックアーク
材質 ステンレス
粗動機構稼動範囲 13mm
微動機構稼動範囲 60μm
粗動機構駆動方式 マイクロメータヘッド
微動機構駆動方式 変位拡大機構型圧電アクチュエータ
分解能 20nm
真直度 ≦1μm/13mm
最小読み取り 10μm/目盛り
モーメント荷重 0.1 arcsec/N・cm
水平耐荷重 117.6N(12kgf)
使用環境 温度:0〜85℃ 湿度:40%以下

 


取り扱い時の注意事項

1. 本装置は高電圧を発生していますので、適切な知識を持った方に御使用頂くか、もしくはその方の指導の下取り扱いに十分注意をお願い致します。

2. ピエゾアシスト精密ステージおよびコントロールドライバーは分解しないでください。

3. ピエゾアシスト精密ステージおよびコントロールドライバーに強い衝撃を与えないでください。

 


カスタマイズ

私どもでは拡大機構型の圧電アクチュエータにおける長年の経験に基づき、お客様のご要望に合わせたカスタマイズも承っております。大きさや機械的な構造での変更などが必要な場合、気軽にお問い合わせください。

 

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