

メカトランスMTDDシリーズは、コンパクトサイズで大きな変位を発生できるピエゾアクチュエータです。圧電素子が発生する変位を10倍以上拡大し、アクチュエータの変位不足を解消することができます。また形状が扁平かつ薄型なため小スペースでの取り付けに有利です。変位拡大機構の締める無駄な空間を少なくし、空間利用効率が非常に高いです。発生変位方向は圧電素子の変位方向と90度変換しているため、利用しやすい配置となっています。電圧を印加すると、このピエゾアクチュエータは伸びる方向に動作します。
メカトランスMTDDシリーズ特長
・1mmに近い(750μm)大きな変位が出力可能。
・豊富なバリエーション
50μm〜750μmまでの範囲で必要な出力を選択可能。
・形状が扁平・薄型で装置の小型化に適している。
・アクチュエータの発生変位方向は圧電素子の変位方向と90度直行
・MTDシリーズとは発生変位の方向が反対
|
メカトランスMTDDシリーズ動作原理
メカトランスMTDDシリーズは変位拡大機構の中心に積層圧電アクチュエータ(圧電素子)を挿入するように取付け、圧電素子が発生する変位量を数倍から数十倍に拡大しています。変位拡大機構側には圧電アクチュエータを取り付ける固定ネジ用のネジ穴が設けられています。圧電素子側には圧電素子に電圧を印加するリード線があり、使用時は図1のように接続をします。
メカトランスMTDDシリーズでは、圧電素子に電圧を印加すると図2 (電圧印加時)で示される様にアクチュエータの内側から外側へ広がる方向に変位は出力されます。また、アクチュエータの変位方向は圧電素子の変位方向と直角で、発生変位・発生力の作用点はアクチュエータの中心にあります。
図1 圧電アクチュエータ駆動システム

図2 圧電アクチュエータ原理図
メカトランスMTDDシリーズ応用例
アクチュエータの使用例としては以下のものがあります。
・露光装置用精密ステージ
・オートフォーカス機構
・精密ポンプ
メカトランスMTDDシリーズ一覧
<MTDD Series>
|
概寸
[mm]
WxDxH |
発生
変位
[μm]
*1 |
発生力
[N]
*1 |
剛性
[N/μm]
*1 |
自己
共振
周波数[Hz]
*1 *2 |
静電
容量[μF]
*1 |
CAD
データ |
価格 [円] (税込) |
1pc |
5pcs
以上 |
25pcs
以上 |
100pcs
以上 |
MTDD03S50F3 |
15×3×5 |
50 |
3 |
0.06 |
1500 |
0.03 |
 |
100,000 |
95,000 |
80,000 |
70,000 |
MTDD06S100F10 |
20×6×7 |
100 |
10 |
0.10 |
700 |
0.2 |
 |
80,000 |
76,000 |
64,000 |
56,000 |
MTDD06S100F11 |
20×6×7 |
100 |
11 |
0.11 |
900 |
0.36 |
 |
85,000 |
80,750 |
68,000 |
59,500 |
MTDD06S330F7 |
22×6×7.8 |
330 |
7 |
0.02 |
400 |
0.86 |
 |
95,000 |
90,250 |
76,000 |
66,500 |
MTDD08S180F32 |
28×8×8 |
180 |
32 |
0.18 |
900 |
0.9 |
 |
90,000 |
85,500 |
72,000 |
63,000 |
MTDD08S300F16 |
26×8×7 |
300 |
16 |
0.053 |
460 |
0.7 |
 |
90,000 |
85,500 |
72,000 |
63,000 |
MTDD08S350F18 |
26×8×7 |
350 |
18 |
0.051 |
500 |
0.8 |
 |
95,000 |
90,250 |
76,000 |
66,500 |
MTDD12S90F5 |
22×12×5.12 |
90 |
5 |
0.06 |
700 |
0.36 |
|
100,000 |
95,000 |
80,000 |
70,000 |
MTDD12S600F80 |
46.8×12×12.6 |
600 |
80 |
0.13 |
300 |
6.75 |
|
115,000 |
109,250 |
92,000 |
80,500 |
MTDD16S750F90 |
52×16×14 |
750 |
90 |
0.12 |
230 |
8.0 |
 |
120,000 |
114,000 |
96,000 |
84,000 |
MTDD16S830F80 |
52×16×14 |
830 |
80 |
0.10 |
230 |
11.8 |
|
125,000 |
118,750 |
100,000 |
87,500 |
MTDD16S860F64 |
52×16×14 |
860 |
64 |
0.07 |
195 |
11.7 |
|
130,000 |
123,500 |
104,000 |
91,000 |
*ご注文の合計が10万円以下の場合、送料2,000円を徴収させて頂きますのでご了承頂ければ幸甚です。
<MTDD Series - Non Magnetic(非磁性タイプ)>
|
概寸
[mm]
WxDxH |
発生
変位
[μm]
*1 |
発生力
[N]
*1 |
剛性
[N/μm]
*1 |
自己
共振
周波数[Hz]
*1 *2 |
静電
容量[μF]
*1 |
CAD
データ |
価格 [円] (税込) |
1pc |
5pcs
以上 |
25pcs
以上 |
100pcs
以上 |
MTDD16S860F64NM |
52×16×14 |
860 |
64 |
0.07 |
195 |
11.7 |
|
140,000 |
133,000 |
112,000 |
98,000 |
*ご注文の合計が10万円以下の場合、送料2,000円を徴収させて頂きますのでご了承頂ければ幸甚です。
<MTDD Series - Non Magnetic & Vaccum Compatible(非磁性真空対応タイ
プ)>
|
概寸
[mm]
WxDxH |
発生
変位
[μm]
*1 |
発生力
[N]
*1 |
剛性
[N/μm]
*1 |
自己
共振
周波数[Hz]
*1 *2 |
静電
容量[μF]
*1 |
CAD
データ |
価格 [円] (税込) |
1pc |
5pcs
以上 |
25pcs
以上 |
100pcs
以上 |
MTDD10S580F80NM-PS |
64×10×21.4 |
580 |
80 |
0.14 |
282 |
11.6 |
|
180,000 |
171,000 |
144,000 |
126,000 |
*ご注文の合計が10万円以下の場合、送料2,000円を徴収させて頂きますのでご了承頂ければ幸甚です。
<MTDD Series - With Linear Bush>
|
概寸
[mm]
WxDxH |
発生
変位
[μm]
*1 |
発生力
[N]
*1 |
剛性
[N/μm]
*1 |
自己
共振
周波数[Hz]
*1 *2 |
静電
容量[μF]
*1 |
CAD
データ |
価格 [円] (税込) |
1pc |
5pcs
以上 |
25pcs
以上 |
100pcs
以上 |
MTDD23S150F800LB |
90×54×27 |
150 |
800 |
5.33 |
1600 |
23.1 |
|
350,000 |
332,500 |
280,000 |
245,000 |
*ご注文の合計が10万円以下の場合、送料2,000円を徴収させて頂きますのでご了承頂ければ幸甚です。
*1 : ノミナル値
*2 : 片側固定

取り扱い時の注意事項
圧電アクチュエータを御使用にあたりまして以下のような注意事項があります。
1)ヒステリシスがある
2)DC印加+湿度環境を避ける
3)引っ張り力を加えないまたアームを強く押さない
4)直流電圧を直接かける場合にはご注意を
5)温度変化に伴いメカトランス先端が変動します
6)電圧極性は単一で
▲ UP
|