メカトランスMTDDシリーズは、コンパクトサイズで大きな変位を発生できるピエゾアクチュエータです。圧電素子が発生する変位を10倍以上拡大し、アクチュエータの変位不足を解消することができます。また形状が扁平かつ薄型なため小スペースでの取り付けに有利です。変位拡大機構の締める無駄な空間を少なくし、空間利用効率が非常に高いです。発生変位方向は圧電素子の変位方向と90度変換しているため、利用しやすい配置となっています。電圧を印加すると、このピエゾアクチュエータは伸びる方向に動作します。
メカトランスMTDDシリーズ特長
・1mmに近い（750μm）大きな変位が出力可能。
・豊富なバリエーション
50μm〜750μmまでの範囲で必要な出力を選択可能。
・形状が扁平・薄型で装置の小型化に適している。
・アクチュエータの発生変位方向は圧電素子の変位方向と90度直行
・MTDシリーズとは発生変位の方向が反対
メカトランスMTDDシリーズ動作原理
メカトランスMTDDシリーズは変位拡大機構の中心に積層圧電アクチュエータ(圧電素子)を挿入するように取付け、圧電素子が発生する変位量を数倍から数十倍に拡大しています。変位拡大機構側には圧電アクチュエータを取り付ける固定ネジ用のネジ穴が設けられています。圧電素子側には圧電素子に電圧を印加するリード線があり、使用時は図1のように接続をします。
メカトランスMTDDシリーズでは、圧電素子に電圧を印加すると図2 (電圧印加時)で示される様にアクチュエータの内側から外側へ広がる方向に変位は出力されます。また、アクチュエータの変位方向は圧電素子の変位方向と直角で、発生変位・発生力の作用点はアクチュエータの中心にあります。
図1 圧電アクチュエータ駆動システム
図2 圧電アクチュエータ原理図
メカトランスMTDDシリーズ応用例
アクチュエータの使用例としては以下のものがあります。
・露光装置用精密ステージ
・オートフォーカス機構
・精密ポンプ
メカトランスMTDDシリーズ一覧
＜MTDD Series＞
| 概寸 [mm] WxDxH |
発生 変位 [μm] *1 |
発生力 [N] *1 |
剛性 [N/μm] *1 |
自己 共振 周波数[Hz] *1 *2 |
静電 容量[μF] *1 |
CAD データ |
価格 [円] | ||||
| 1pc | 5pcs 以上 |
25pcs 以上 |
100pcs 以上 |
||||||||
| MTDD03S50F3 | 15×3×5 | 50 | 3 | 0.06 | 1500 | 0.03 |  |
100,000 | 95,000 | 80,000 | 70,000 |
| MTDD06S100F10 | 20×6×7 | 100 | 10 | 0.10 | 700 | 0.2 | |
80,000 | 76,000 | 64,000 | 56,000 |
| MTDD06S100F11 | 20×6×7 | 100 | 11 | 0.11 | 900 | 0.36 | |
85,000 | 80,750 | 68,000 | 59,500 |
| MTDD06S330F7 | 22×6×7.8 | 330 | 7 | 0.02 | 400 | 0.86 | |
95,000 | 90,250 | 76,000 | 66,500 |
| MTDD08S180F32 | 28×8×8 | 180 | 32 | 0.18 | 900 | 0.9 | |
90,000 | 85,500 | 72,000 | 63,000 |
| MTDD08S300F16 | 26×8×7 | 300 | 16 | 0.053 | 460 | 0.7 | |
90,000 | 85,500 | 72,000 | 63,000 |
| MTDD08S350F18 | 26×8×7 | 350 | 18 | 0.051 | 500 | 0.8 | |
95,000 | 90,250 | 76,000 | 66,500 |
| MTDD12S90F5 | 22×12×5.12 | 90 | 5 | 0.06 | 700 | 0.36 | 100,000 | 95,000 | 80,000 | 70,000 | |
| MTDD12S600F80 | 46.8×12×12.6 | 600 | 80 | 0.13 | 300 | 6.75 | 115,000 | 109,250 | 92,000 | 80,500 | |
| MTDD16S750F90 | 52×16×14 | 750 | 90 | 0.12 | 230 | 8.0 | |
120,000 | 114,000 | 96,000 | 84,000 |
| MTDD16S830F80 | 52×16×14 | 830 | 80 | 0.10 | 230 | 11.8 | 125,000 | 118,750 | 100,000 | 87,500 | |
| MTDD16S860F64 | 52×16×14 | 860 | 64 | 0.07 | 195 | 11.7 | 130,000 | 123,500 | 104,000 | 91,000 | |
＜MTDD Series - Non Magnetic（非磁性タイプ）＞
| 概寸 [mm] WxDxH |
発生 変位 [μm] *1 |
発生力 [N] *1 |
剛性 [N/μm] *1 |
自己 共振 周波数[Hz] *1 *2 |
静電 容量[μF] *1 |
CAD データ |
価格 [円] | ||||
| 1pc | 5pcs 以上 |
25pcs 以上 |
100pcs 以上 |
||||||||
| MTDD16S860F64NM | 52×16×14 |
860 | 64 | 0.07 | 195 | 11.7 | 140,000 | 133,000 | 112,000 | 98,000 | |
＜MTDD Series - With Linear Bush＞
| 概寸 [mm] WxDxH |
発生 変位 [μm] *1 |
発生力 [N] *1 |
剛性 [N/μm] *1 |
自己 共振 周波数[Hz] *1 *2 |
静電 容量[μF] *1 |
CAD データ |
価格 [円] | ||||
| 1pc | 5pcs 以上 |
25pcs 以上 |
100pcs 以上 |
||||||||
| MTDD23S150F800LB | 90×54×27 | 150 | 800 | 5.33 | 1600 | 23.1 | 350,000 | 332,500 | 280,000 | 245,000 | |
*1 : ノミナル値 *2 : 片側固定
取り扱い時の注意事項
圧電アクチュエータを御使用にあたりまして以下のような注意事項があります。