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高剛性, 縮み

圧電素子 圧電アクチュエータ ピエゾアクチュエータ コンパクト 高剛性

メカトランスMTDシリーズは、コンパクトサイズで大きな変位を発生できるピエゾアクチュエータです。圧電素子が発生する変位を10倍以上拡大し、アクチュエータの変位不足を解消することができます。また形状が扁平かつ薄型なため小スペースでの取り付けに有利です。変位拡大機構の締める無駄な空間を少なくし、空間利用効率が非常に高いです。発生変位方向は圧電素子の変位方向と90度変換しているため、利用しやすい配置となっています。電圧を印加すると、このピエゾアクチュエータは縮む方向に動作します。

 

メカトランスMTDシリーズ特長

・1mmに近い(750μm)大きな変位が出力可能。

・形状が扁平・薄型で装置の小型化に適している。

・アクチュエータの発生変位方向は圧電素子の変位方向と90度直行

・印加電圧の上昇と共に縮む

・MTDDシリーズとは発生変位の方向が反対

 


メカトランスMTDシリーズ動作原理

メカトランスMTDシリーズは変位拡大機構の中心に積層圧電アクチュエータ(圧電素子)を挿入するように取付け、圧電素子が発生する変位量を数倍から数十倍に拡大しています。変位拡大機構側には圧電アクチュエータを取り付ける固定ネジ用のネジ穴が設けられています。圧電素子側には圧電素子に電圧を印加するリード線があり、使用時は図1のように接続をします。

メカトランスMTDシリーズでは、圧電素子に電圧を印加すると図2(電圧印加時)で示される様にアクチュエータの外側から内側へ縮む方向に変位は出力されます。また、アクチュエータの変位方向は圧電素子の変位方向と直角で、発生変位・発生力の作用点はアクチュエータの中心にあります。

圧電素子 圧電アクチュエータ ピエゾアクチュエータ

図1 圧電アクチュエータ駆動システム

 

圧電素子 圧電アクチュエータ ピエゾアクチュエータ コンパクト 高剛性

図2 圧電アクチュエータ原理図

 


メカトランスMTDシリーズ応用例

アクチュエータの使用例としては以下のものがあります。

・露光装置用精密ステージ
・オートフォーカス機構
・精密ポンプ

 


メカトランスMTDシリーズ一覧

<MTD Series>

  概寸
[mm]
WxDxH
発生
変位
[μm]
*1
発生力
[N]
*1
剛性
[N/μm]
*1
自己
共振
周波数[Hz]
*1 *2
静電
容量[μF]
*1
CAD
データ
価格 [円]
1pc 5pcs
以上
25pcs
以上
100pcs
以上
MTD03S50F3
Datasheet Download
15×3×5 50 3 0.06 2000 0.03 Download 100,000 95,000 80,000 70,000
MTD08S250F27
Datasheet Download
22×8×8 250 27 0.11 790 0.85 Download 85,000 80,750 68,000 59,500
MTD08S300F25
Datasheet Download
26×8×8 300 25 0.08 500 0.85 Download 90,000 85,500 72,000 63,000
MTD16S750F90
Datasheet Download
52×16×16 750 90 0.12 290 8.5 Download 120,000 114,000 96,000 84,000
MTD16S830F100
Datasheet Download
52×16×16 830 100 0.12 290 8.5   125,000 118,750 100,000 87,500
MTD20S160F920
Datasheet Download
21.1×37×90 160 920 5.75 850 25 Download 270,000 256,500 216,000 189,000

 

*1 : ノミナル値  *2 : 片側固定

 


取り扱い時の注意事項

圧電アクチュエータを御使用にあたりまして以下のような注意事項があります。

1)ヒステリシスがある

2)DC印加+湿度環境を避ける

3)引っ張り力を加えないまたアームを強く押さない

4)直流電圧を直接かける場合にはご注意を

5)温度変化に伴いメカトランス先端が変動します

6)電圧極性は単一で

 


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